X射線衍射儀采用當(dāng)前先進(jìn)的技術(shù)，能夠精確地對(duì)金屬和非金屬多晶樣品進(jìn)行物相定性、定量分析。儀器應(yīng)包括長(zhǎng)壽命X射線光管、高精度測(cè)角儀、能量色散探測(cè)器以及相關(guān)外圍設(shè)備。X射線衍射儀結(jié)構(gòu)組成：
?。?）X射線發(fā)生器——產(chǎn)生X射線的裝置；
X射線發(fā)生器由X射線管、高壓發(fā)生器、管壓和管流穩(wěn)定電路以及各種保護(hù)電路等部分組成。
X射線管實(shí)質(zhì)上是一個(gè)真空二極管。工作原理：給陰極加上一定的電流被加熱時(shí)，便能放出熱輻射電子。在數(shù)萬(wàn)伏特高壓電場(chǎng)的作用下，這些電子被加速并轟擊陽(yáng)極（又被稱為靶）。陽(yáng)極靶面上受電子束轟擊的焦點(diǎn)呈細(xì)長(zhǎng)的矩形狀（稱線焦點(diǎn)或線焦斑），從射線出射窗中心射出的X射線與靶面的掠射角為3°-6°。從出射方向垂直焦斑長(zhǎng)邊的兩個(gè)出射窗口觀察，焦斑呈線狀的稱為線光源；從另外兩個(gè)出射窗口觀察，焦斑如點(diǎn)狀稱為點(diǎn)光源。在衍射儀每次安裝管子時(shí)，必須辨別所使用X射線出射窗口是否為線焦點(diǎn)方向。此外，還要求測(cè)角儀相對(duì)于靶面平面要有適當(dāng)?shù)膬A斜角。
?。?）測(cè)角儀——測(cè)量角度2θ的裝置；
測(cè)角儀是X射線衍射儀測(cè)量中核心部分，用來(lái)精確測(cè)量衍射角。
?。?）X射線探測(cè)器——測(cè)量X射線強(qiáng)度的計(jì)數(shù)裝置；
計(jì)數(shù)器的主要功能是將X射線光子的能量轉(zhuǎn)換成電脈沖信號(hào)。通常用于X射線衍射儀的輻射探測(cè)器有正比計(jì)數(shù)器、閃爍計(jì)數(shù)器和位敏正比探測(cè)器。
?。?）X射線系統(tǒng)控制裝置——數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和各種電氣系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)。
X射線能對(duì)人體組織造成傷害，在自己做好防護(hù)措施的同時(shí)也要確保防護(hù)系統(tǒng)的安全性。對(duì)設(shè)備要定期進(jìn)行檢查維護(hù)，操作者要學(xué)習(xí)射線防護(hù)知識(shí)，同時(shí)也要接受射線職業(yè)健康檢查。
